滑軌之行走精度


項目
精度等級
普通級 高級 精密級 超精密級 最頂級
N H P SP UP
組合高誤差 (H) ±0.1 ±0.04 0
-0.04
0
-0.02
0
-0.01
組合寬誤差 (W) ±0.1 ±0.04 0
-0.04
0
-0.02
0
-0.01
成對高度相互誤差 (ΔH) 0.03 0.02 0.01 0.005 0.003
成對寬度相互誤差 (ΔW) 0.03 0.02 0.01 0.005 0.003
滑座 C 面對軌道 A 面
的行走精度
Δ C 參考圖一
滑座 D 面對軌道 B 面
的行走精度
Δ D 參考圖一